SrTiO3-substraat
Beschrijving
SrTiO3-eenkristal heeft een goede roosterstructuur van perovskietstructuurmateriaal.Het is een uitstekend substraatmateriaal voor epitaxiegroei van HTS en de meeste oxidefilms.Het wordt veel gebruikt bij het onderzoek naar supergeleidende dunne films bij hoge temperaturen.Het wordt ook veel gebruikt in speciale optische vensters en hoogwaardige sputterdoelen.
Eigenschappen
Oriëntatie: (100) +/-0,5 graden
Randoriëntatie Indicatie: <001> +/-2 graden beschikbaar als optie tegen meerprijs
Polijsten: Eén zijde EPI gepolijst door CMP-technologie met minder ondergrondse roosterschade.
Verpakking: Verpakt in een plastic zak van 100 graden onder een cleanroom van 1000 klassen.
| Kristal structuur | Kubisch, a=3,905 A |
| Groeimethode | Vernuil |
| Dichtheid (g/cm3） | 5.175 |
| Smeltpunt (℃) | 2080 |
| Hardheid (Mho) | 6 |
| Thermische expansie | 10,4 (x10-6/ ℃) |
| Diëlektrische constante | ~ 300 |
| Verliestangens op 10 GHz | ~5x10-4@ 300K, ~3x10-4@77K |
| Kleur en uiterlijk | Transparant (soms lichtbruin op basis van ontlatingsomstandigheden). Geen tweeling |
| Chemische stabiliteit | Onoplosbaar in water |
SrTiO3-substraatdefinitie
Het SrTiO3-substraat verwijst naar een kristallijn substraat gemaakt van de verbinding strontiumtitanaat (SrTiO3).SrTiO3 is een perovskietmateriaal met een kubieke kristalstructuur, dat wordt gekenmerkt door een hoge diëlektrische constante, hoge thermische stabiliteit en goede roostermatching met veel andere materialen.
SrTiO3-substraten worden veel gebruikt op het gebied van dunnefilmdepositie en epitaxiale groei.De kubieke structuur van SrTiO3 maakt de groei mogelijk van hoogwaardige dunne films met uitstekende kristallijne kwaliteit en lage defectdichtheid.Dit maakt SrTiO3-substraten zeer geschikt voor het kweken van epitaxiale films en heterostructuren voor diverse toepassingen.
De hoge diëlektrische constante van SrTiO3 maakt het geschikt voor toepassingen zoals condensatoren, geheugenapparaten en ferro-elektrische dunne films.De thermische stabiliteit maakt het geschikt voor toepassingen bij hoge temperaturen.
Bovendien maken de diverse eigenschappen van SrTiO3, zoals de metallische geleidbaarheid bij lage temperaturen en de mogelijkheid om een supergeleidende toestand te induceren, het bruikbaar voor fysicaonderzoek naar gecondenseerde materie en de ontwikkeling van elektronische en opto-elektronische apparaten.
Samenvattend zijn SrTiO3-substraten kristallijne substraten gemaakt van strontiumtitanaat, die vaak worden gebruikt bij dunnefilmdepositie, epitaxiale groei en een breed scala aan elektronische en opto-elektronische toepassingen vanwege hun hoge diëlektrische constante, thermische stabiliteit en goede roosteraanpassingseigenschappen.
